超声电机是基于压电现象产生超声驻波的原理而开发的，应用于运动控制领域的精密电机。与传统电机相似，具有高分辨率和压电驱动装置的动态特性。给超声波电机输入驱动电压后，压电材料产生压电现象，同时发生的纵向延伸和横向弯曲模式的激励在陶瓷指尖的狭小的椭圆通道里产生二维声波，从而产生驱动力进行直线或旋转运动。

超声电机具有定位精确，分辨率可达1μm，精度10nm，运动速度平稳，低10μm/s，高250mm/s，标准应答时间为50～75μs，整定时间明显优于一般伺服电动机，以0.1μm的分辨率为例，只需1～2ms，为一般伺服电动机的1/10，定位后没有一般伺服电动机存在的晃动问题，而且超声波电机具有重量轻，体积小，精度高等特点。

什么是音圈电机？音圈电机是一种特殊形式的直接驱动电机，能将电能直接转化成直线运动机械能而不需要任何中间转换机构的传动装置。其原理是在均匀气隙磁场中放入一圆筒状绕组，绕组通电产生电磁力带动负载作直线往复运动，改变电流的强弱和极性，就可改变电磁力的大小和方向。

音圈电机是一种反应频率快的直驱式电机，分圆柱音圈电机，摆角音圈电机，矩型音圈电机。音圈电机具有零磁滞、零磁槽效应，高响应，高精度，高加速，高速度，力特性好，控制方便，体积小和分辨率无限小等优点。

根据驱动、反馈、控制器和控制算法等配置高低，音圈电机一般可以达到500-1000Hz的运动频率，甚至更高。