精密定位平台也叫电动滑台、精密定位滑台。随着半导体光刻技术、微型机械、精密测量、超精密加工、微装配和纳米技术的迅速发展，对精密定位系统的行程、速度和精度等提出了越来越高的要求，其控制精度在微米级，甚至纳米级的范围内。

精密运动系统是集精密位置检测技术、驱动技术、直线导向技术、控制技术为一体的有机综合体。其中，驱动控制技术直接决定了平台的速度、精度、行程和整个系统的效率。

在传统的定位技术中，常用伺服电机+滚珠丝杠的方式，由于具有运动转换环节，不可避免地存在间隙误差，虽然经过预紧后可实现良好的传动精度，但使其达到纳米级精度代价不菲。超声波电机是利用压电材料的逆压电特性，激发电机定子的机械振动，通过定转子之间的摩擦力，将电能转换为机械能输出，驱动转子的定向运动。

超声电机具有结构简单、响应快、断电自锁、不受电磁干扰等特点，同时具有较大的行程以及纳米级的位移分辨率。