超声波马达用于特殊目的，例如驱动摄像机镜头，因为该马达可以配置为磁盘。压电元件具有在施加电压时沿垂直于电压的方向延伸的特性。最初，研究了使用此功能将位移转换为线性或旋转运动以制造电动机。但是膨胀和收缩只有几微米。为了使电动机旋转，需要将压电体和弹性体组合并以高频振动的结构。

1980年，通过产生从压电体到弹性体的行波发明了一种实用的电动机。使用术语“超声马达”是因为其根据弹性体的共振频率以大于20kHz或更高的可听范围的频率(超声波)被驱动。图中显示了行波超声电机的工作原理。

定子是由压电元件和弹性体组成的两层结构。压电元件由两组驱动电极组成。每个电极布置在行波波长的一半处，并交替极化以具有相反的极性。当频率接近弹性体的频率时弯曲当将固有振动频率的AC电压施加到驱动电极时，压电元件交替地膨胀和收缩，从而导致弹性体弯曲。通过向两个电极施加相位差为90度的交流电压，合成两个驻波在空间和时间上。