微型电机种类繁多，可分为直流电机、交流电机、步进电机、直线电机、微型电动机、压电电机、特种电机等等。微型电机无绕组和磁极，无需通过电磁作用产生运动力，而是利用压电陶瓷的逆压电效应和超声振动，将材料的微观变形通过机械共振放大和摩擦耦合转换成转子的宏观运动。

微特电机在结构上大体可分为3类 ：

1.电磁式

基本组成与普通电机相似，包括定子、转子、电枢绕组、电刷等部件，但结构格外紧凑。

2.组合式

常见的有两种：上述各种微电机的组合；微电机与电子线路的组合。例如直流电动机与传感器的组合，X方向与Y方向直线电动机的组合等。

3.非电磁式

外形结构与电磁式一样，如旋转类产品作成圆柱形，直线类产品作成方形，但内部结构因其工作原理不同而差别很大。

最后，实现超声波驱动有两个前提条件：首先，需在电机定子表面激励出稳态的质点椭圆运动轨迹；其次，将定子表面质点水平方向的微观运动转换成转子的宏观运动或平动。