超声电机的雏形最早由前苏联在60年代初提出。至今，日本、美国、俄罗斯、德国竞相研制各种类型和用途的超声电机，高度垄断。在国内，到目前为止，深圳市三阶微控实业有限公司是国内为数不多的，拥有自主专利技术，集超声波电机的研发、生产、销售为一体的企业之一。下面三阶微控小编简单说明下国内外超声波电机的发展现状。

国外概念提出阶段（20世纪40年代-70年代）

1、BaTiO₃陶瓷的制备技术；

2、1948年Williams和Brown申请第一个“压电马达”专利；

3、1961年Bulova公司利用弹性振动驱动钟表；

4、1973年和IBM公司的Barth提出超声电机方案。

国外样机研制阶段（20世纪80年代前期）

1、1982年Sashida提出驻波旋转超声电机，解决了驱动问题；

2、1983年Sashida提出行波旋转超声电机，解决了稳定性问题；

3、1985年Sashida提出直线超声电机方案：环梁式和直梁式。

国外商品化阶段（1987年至今）

1、Sashida创立Shinsei公司，正式把行波超声电机作为商品出售；

2、Canon公司把杆式行波超声电机应用到EOS（电子光学系统）相机镜头的调焦系统；

3、各类不同原理、不同形式、不同性能的超声电机被研发和应用。

国内超声电机起源于20世纪90年代，目前尚未在大型项目中投入使用，仍处在认知、尝试、发展阶段，与国外相比超声波电机应用远远落后。