电能和机械可以通过电磁力以外的方法进行转换，已知利用作用在电容器的电极之间的力的静电电动机和利用压电元件的超声电机马达。尽管静电马达已作为MEMS（微机电系统）而受到关注，但很少投入实际使用。另一方面，后一种超声马达用于特殊目的，例如驱动相机镜头，因为该马达可以被构造成盘状。

定子由压电元件和弹性体构成的两层结构，该压电元件由两组驱动电极构成。每个电极被布置为行波波长的一半，并且被交替极化以具有相反的极性。当将频率接近弹性体的弯曲振动的固有频率的AC电压施加到驱动电极时，压电元件交替地膨胀和收缩，导致弹性体弯曲。

通过向两个电极施加相位差为90度的交流电压，合成在空间和时间上异相的两个驻波，。波在弹性体上的最大点通过绘制与行进波相反的椭圆形轨迹而移动。因此，当在转子（移动体）和定子之间施加高压时，转子在行波的波前与弹性体接触，并且沿着振子表面上的椭圆轨迹在与行波相反的方向上发生摩擦。

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