在超声波马达问世之前，实际上已有利用压电材料振动特性来驱动的压电马达，惟其频率并不限于超声波的范围。如今随着技术的发展，超声波马达可以被构造成盘状，从而被直接用来驱动相机镜头。

光学镜头超声波马达的原理

定子由压电元件和弹性体构成的两层结构，该压电元件由两组驱动电极构成。每个电极被布置为行波波长的一半，并且被交替极化以具有相反的极性。当将频率接近弹性体的弯曲振动的固有频率的AC电压施加到驱动电极时，压电元件交替地膨胀和收缩，导致弹性体弯曲。

通过向两个电极施加相位差为90度的交流电压，合成在空间和时间上异相的两个驻波，并获得行波。波在弹性体上的最大点通过绘制与行进波相反的椭圆形轨迹而移动。因此，当在转子（移动体）和定子之间施加高压时，转子在行波的波前与弹性体接触，并且沿着振子表面上的椭圆轨迹在与行波相反的方向上发生摩擦。

三阶微控超声波马达不仅能运用在光学镜头，还可运用在冷却水泵、车载小风扇、手术器件、精密驱动及控制、微型机械臂、支架类、卫星照相系统、微型机械臂、车载设备、车灯控制、方向盘、微型智能机器人、激光云台、无人机云台等领域。