超声波电机(Ultrasonic Motor缩写USM)是以超声频域的机械振动为驱动源的驱动器。人耳能感知的声音频率，约由50Hz~20kHz之范围，因此超声波为20kHz以上频率之音波或机械振动。以外加交流电压做驱动源之下的压电陶瓷会产生超声波的交替伸缩现象，虽然伸缩的大小仅达数微米程度，但因每秒之伸缩达数十万次，每秒可移动达数厘米。

超声波电机研究均是设计以不同的方式获得屈曲弹性波(Flexure Wave)的椭圆运动，应用超声波电机的屈曲弹性波可分两类：

1.驻波型超声波电机，此种型式的超声波电机其转子被振动子的末端所驱动。

2.行进波型超音波马达，此种型式的超声波电机其转子是由一沿着特定方向传递前进的行进波所驱动。虽然驻波型式的超声波电机具有较高的机电转换效率，然而由于行进波型式之超声波电机，可以瞬间改变方向，且体积、重量等在设计上较具弹性，故在一般应用上以行进波型超声波电机为主。

三阶微控超声波电机与传统电机相比，它具有以下特点与优点：低速大力矩输出；功率密度高；起停控制性好；可实现直接驱动；可实现精确定位；容易制成直线移动型马达；噪音小：无电磁干扰亦不受电磁干扰；需使用耐磨材料和高频电源等。